压电陶瓷执行器因其体积小、位移分辨率高、响应速度快、输出力大、换能效益高等优点,广泛应用于扫描探针显微镜、自适应
/主动光学元件、纳米定位、振动控制、声学、声纳、微流体输送等领域中[1]。对于压电陶瓷稳定工作很多困难亟待解决,压电陶瓷片联系方式,其中迫切的就是驱动电源,压电陶瓷驱动电源技术己成为目前压电陶瓷执行器应用中的关键技术之一[2]。
4)开关式电源开关式驱动电源基于直流变化器原理,由于输出级(通常是MOSFET)只工作在开、关两种状态,因而提高了效率,发热小。但是,目前基于这种原理研制的驱动电源输出纹波电压较大,频率特性差,电路实现也较复杂。因4)开关式电源开关式驱动电源基于直流变化器原理,由于输出级(通常是MOSFET)只工作在开、关两种状态,因而提高了效率,发热小。但是,目前基于这种原理研制的驱动电源输出纹波电压较大,频率特性差,电路实现也较复杂。因此,采用开关式电源快速、准确驱动强容性负载仍需要更深入的研究
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